證券時報e公司訊，英杰電氣在機構調研時表示，截止到2023年11月底，公司射頻電源的訂單已經(jīng)有9000多萬，其中絕大部分都是半導體設備端的電源訂單，還有少部分在其他行業(yè)。從訂單數(shù)量級別上看，可以說已經(jīng)進入了批量供應階段。另外，公司目前用于topcon的濺射電源已經(jīng)有了一定的量，也是最近幾個月開始上量的。截止到2023年11月底，有4000萬左右的訂單，相比之前的幾百萬，在訂單上有了較大的突破。
