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3月20日，鼎龍股份(300054)在武漢舉行“年產(chǎn)300噸高端晶圓光刻膠&湖北芯陶靜電卡盤項(xiàng)目聯(lián)合投產(chǎn)儀式”。鼎龍股份董事長朱雙全在現(xiàn)場表示，兩大項(xiàng)目同步投產(chǎn)，標(biāo)志著公司在半導(dǎo)體核心材料與核心部件領(lǐng)域正式邁入規(guī)?；慨a(chǎn)、市場化供應(yīng)階段。

“兩者的國產(chǎn)化率均不足10%，是產(chǎn)業(yè)鏈安全的關(guān)鍵短板?！敝祀p全介紹，當(dāng)前全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭日趨激烈，核心材料與核心部件的自主可控，已經(jīng)成為保障產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全和穩(wěn)定的關(guān)鍵。晶圓光刻膠被譽(yù)為半導(dǎo)體制造的“咽喉材料”，靜電卡盤是晶圓加工環(huán)節(jié)的“核心功能部件”，兩者技術(shù)壁壘高、驗(yàn)證周期長、質(zhì)量要求嚴(yán)苛，長期以來高度依賴進(jìn)口。

據(jù)了解，鼎龍股份此次投產(chǎn)的年產(chǎn)300噸高端晶圓光刻膠項(xiàng)目，聚焦ArF/KrF高端晶圓光刻膠，產(chǎn)品覆蓋國內(nèi)晶圓廠全制程技術(shù)節(jié)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于高端存儲（3D NAND, DRAM）和高性能邏輯器件，可滿足邏輯芯片與存儲芯片的全品類需求。

該項(xiàng)目位于潛江市，總投資約8.04億元，建筑面積近1.2萬平方米，建設(shè)28條光刻膠配方生產(chǎn)線及配套原材料合成純化平臺，實(shí)現(xiàn)從單體、光酸、樹脂等核心原料到成品光刻膠的全鏈條自主制造。

同步落地投產(chǎn)的湖北芯陶靜電卡盤項(xiàng)目，讓湖北芯陶成為國內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)從核心陶瓷粉體原材料到電極漿料、多孔陶瓷、貼合膠全鏈條自主可控的企業(yè)，其產(chǎn)品適配7nm及以下先進(jìn)制程。

該項(xiàng)目位于武漢經(jīng)開區(qū)綜合保稅區(qū)，總投資超10億元，計(jì)劃年產(chǎn)高端靜電卡盤1500顆、高溫加熱盤500顆，年產(chǎn)值超10億元。

值得一提的是，湖北芯陶不僅是國內(nèi)唯一可拆解維修TEL RK6/7系列、LAM 054系列等最高端靜電卡盤的企業(yè)，更成功自主研發(fā)與機(jī)臺通訊協(xié)議，使國產(chǎn)卡盤可被國際主流機(jī)臺無縫識別，144區(qū)/150區(qū)精準(zhǔn)控溫技術(shù)達(dá)到全球先進(jìn)水平。

“公司從2010年布局半導(dǎo)體材料開始，沒有追求短期的風(fēng)口，而是一頭扎進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)材料研發(fā)的深水區(qū)。”鼎龍股份總裁朱順全表示，上述投產(chǎn)的兩個(gè)項(xiàng)目，是公司在半導(dǎo)體材料及設(shè)備零部件領(lǐng)域，繼Pad、Slurry、封裝光刻膠和臨時(shí)鍵合膠等半導(dǎo)體材料后的又一里程碑。接下來公司將以這兩個(gè)項(xiàng)目為支點(diǎn)，持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)品性能，提升產(chǎn)能保障，深化與客戶的協(xié)同創(chuàng)新。

依托武漢、潛江、仙桃三大產(chǎn)業(yè)園，鼎龍股份在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域已形成多點(diǎn)開花的局面：CMP拋光墊系列產(chǎn)品單月銷量屢創(chuàng)新高，穩(wěn)居國產(chǎn)供應(yīng)商龍頭地位；CMP拋光液及配套磨料實(shí)現(xiàn)批量供貨，收入持續(xù)增長；半導(dǎo)體顯示材料YPI、PSPI等產(chǎn)品確立國產(chǎn)供應(yīng)領(lǐng)先地位，仙桃產(chǎn)業(yè)園PSPI產(chǎn)線自2024年起實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定批量供貨。